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详细信息产品特点:
1.闭管式扩散系统,有效降低生产成本,更洁净、更环保
2.石英舟采用软着陆送片,高可靠性
3.工业计算机控制系统,对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制
4.采用悬臂送片器,操作方便、无摩擦污染等
5.具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
6.控温精度高,温区控温稳定性好
7.关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性
8.高质量的加热炉体,确保恒温区的高稳定性及长寿命
主要技术指标
9.工作温度:400~1100℃
10.有效口径:适应石英管外径Ф320mm
11.装片数量:400片/管
12.工艺管数量:1~4管(可选择)
13.恒温区长度: 1100mm(可根据用户要求定制)
14.恒温区精度:≤±1℃(600~1100℃)
15.单点温度稳定性:≤±1℃/24h(600~1100℃)
16.温度斜变能力: 最大可控升温速度:15℃/min(300~1300℃) 最大降温速度: 5℃/min (1300~900℃)
17.实时显示工艺过程恒温区内前、中、后三点的实际温度
18.送片方式:采用悬臂送片器,进退舟速度5mm/min~1000mm/min连续可调
19.净化台洁净度:100级
本产品网址:http://www.vooec.com/sjshow_4489226/ 手机版网址:http://m.vooec.com/trade_4489226.html 产品名称:太阳能光伏炉体、炉体--青岛晨立 |
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