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供应扩散炉、炉体系列—青岛晨立电子有限公司

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发布时间: 2024/4/9 10:36:00
供应扩散炉、炉体系列—青岛晨立电子有限公司 详细说明
  产品描述

设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标:

炉管数: 1~4管

配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)

恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃)

760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)

单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃)

±0.5℃/24h (800~1280℃)

气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

气体控制: 浮子/质量流量计

悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min

最大行程:2000 mm

定位精度:±1 mm

最大载荷:17 Kg

超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)

噪音: ≤62dB(A)

振动: ≤3μm



本产品网址:http://www.vooec.com/sjshow_4480362/
手机版网址:http://m.vooec.com/trade_4480362.html
产品名称:供应扩散炉、炉体系列—青岛晨立电子有限公司
 
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