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供应扩散炉、炉体系列—青岛晨立电子有限公司
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手机:13869885308
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青岛晨立电子有限公司
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供应扩散炉、炉体系列—青岛晨立电子有限公司
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发布时间:
2024/4/9 10:36:00
供应扩散炉、炉体系列—青岛晨立电子有限公司 详细说明
产品描述
设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标:
炉管数: 1~4管
配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)
恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃)
760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃)
±0.5℃/24h (800~1280℃)
气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制: 浮子/质量流量计
悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min
最大行程:2000 mm
定位精度:±1 mm
最大载荷:17 Kg
超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)
噪音: ≤62dB(A)
振动: ≤3μm
本产品网址:
http://www.vooec.com/sjshow_4480362/
手机版网址:
http://m.vooec.com/trade_4480362.html
产品名称:供应扩散炉、炉体系列—青岛晨立电子有限公司
·联系方式
青岛晨立电子有限公司
姜经理 先生 经理
电 话:
86-0532-88533525
传 真:
86--
手 机:
13869885308
地 址:
山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
网 址:
http://chenlidianzi.cn.vooec.com
邮 编:
266200
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