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酸性清槽剂 一、产品特性 目前碳酸钠、碳酸钾广泛使用于干膜制程,由于槽液含有大量碳酸根,当其结合水中钙、镁离子,产生固体沉淀,此白色沉淀不仅附着在槽壁,同时亦阻塞管路与喷嘴,容易造成显影不良等后遗症,重者将破坏设备降低设备寿命。 酸性清槽剂为单液型,针对上述制程困扰研发,能有效清除干膜槽沉淀固体,并可溶解干膜槽中的油性物质,定期清槽可有效确保生产质量延长设备寿命。 二、 配槽方法 酸性清槽剂 30%-70% 水 70%-30% 清槽步骤: 1、先排放掉旧显影液,再用清水清洗10分钟。 2、加酸性清槽剂(40%),并以清水加至标准液位。 3、升温至40℃,喷洗1-3小时后排放此液。 4、注入清水喷洗10分钟后排放,再用高压水枪冲洗。 5、注入清水喷洗15分钟后排放,即可完成清槽程序。 三、操作条件 1、温度:30~40℃ 2、浓度:40% 3、时间:1-3小时(视沉淀物多少而定)
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