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AALBORG流量控制器 型号:齐全 主要特点 美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。 详细介绍 美国AALBORG质量流量计,AALBORG流量控制器,AALBORG阀,AALBORG泵 深圳市欧详机电应美国AALBORG质量流量计,AALBORG流量控制器,AALBORG阀,AALBORG泵,如您有意购买,欢迎来电咨询! 产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器 典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺 。 设计特点: -刚性金属结构 -流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm -最大压力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦气 -NIST系统标定可追踪的证明 -可倾斜的LCD读表 -0-5Vdc或4-20mA信号输出 -电路保护 -可用作便携式的设备 -0到100%比例显示 -可配备流量计算机 精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(标定精度),在给定的温度与压力值条件下。 重复性:±0.5%满量程 回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2秒 温度系数:0.15%满量程/℃ 压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar) 气体/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃) 输出信号:0-5Vdc,最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 传感器输出:+12Vdc;最大200Ω。+24Vdc可选 时间恒量:800ms 气体压力:最大1000psig(70bar)。可选20psig(1.4bar) 流体接触面材质:A:GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环 B:GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不锈钢系列:316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。 方位灵敏度:水平到垂直旋转低于15度;标准校准是在水平位置 连接:GFC17和37:1/4"卡套螺纹VCR®或1/8"卡套可选(GFC17) GFC47:3/8"卡套螺纹 GFC57:3/8"卡套螺纹 GFC67:1/2"卡套螺纹 GFC77:3/4"卡套螺纹 VCR®或3/4"卡套可选(GFC77)
本产品网址:http://www.vooec.com/sjshow_3818497/ 手机版网址:http://m.vooec.com/trade_3818497.html 产品名称:美国AALBORG质量流量计 |
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