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气浮平台 1专为高性能校准和装配应用设计 2分辨率达2nm的直线编码器反馈 3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器) 4全预加负载气浮导轨(空气轴承) 5低噪音线性放大器 6全部非接触设计 行程≤150mm 精度±0.20um 重复定位精度±0.05um
本产品网址:http://www.vooec.com/sjshow_27211642/ 手机版网址:http://m.vooec.com/trade_27211642.html 产品名称:气浮平台/苏州气浮平台/平台定制 |
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