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高精度圆柱硅片抛光机

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发布时间: 2011/12/10 10:14:00
 
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公司名称:方达研磨机械制造厂
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高精度圆柱硅片抛光机 详细说明
  深圳方达平面研磨机,平面抛光机,陶瓷抛光机,电动陶瓷抛光机是方达研磨设备有限公司专业生产这些产品的专业户,公司资历雄厚,历史悠久,人才辈出,是深圳比较有实力的厂家之一。最新研发圆柱硅片抛光机
工作原理:
本系列硅片抛光机由四个吸附盘吸附硅片与抛光盘做逆时针旋转来达到抛光的目的。
深圳方达最新研发圆柱硅片抛光机
特点:
1.本系列抛光机的吸附盘由四台单独的电机驱动、速度与压力可调。
2.控制系统中采用PLC彩色终端等先进技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护的功能;
3.本系列抛光机运行平稳,抛光后的产品厚度公差可控制在正负0.002mm范围内,粗糙度可达到0.0005mm。
设备规格:
型号 YM-18A YM-24A YM-36A YM-48A
抛光盘规格 φ460*φ140 φ610*φ200 φ910*φ300 φ1220*φ400
最大抛光尺寸 φ150mm φ200mm φ300mm φ450mm
抛光后平面度 ±0.5u以内 ±0.7u以内 ±1u以内 ±1u以内
工件平行度(25mm) ±1u以内 ±1.5u以内 ±2u以内 ±2u以内
工件粗糙度 0.4nm以内 0.4nm以内 0.4nm以内 0.4nm以内
抛光盘电机功率 2.2kw 3相380V 3.7kw 3相380V 7.7kw 3相380V 11kw 3相380V
抛光盘转速 0~120rpm 0~100rpm 0~80rpm 0~60rpm
外形尺寸 700*1100*1100mm 950*1200*2200mm 1200*1400*2300mm 1500*1700*2400mm
重量 960kg 1800kg 2600kg 4500kg





本产品网址:http://www.vooec.com/cpshow_2763942/
手机版网址:http://m.vooec.com/product_2763942.html
产品名称:高精度圆柱硅片抛光机
 
·基本配置规格
 
 
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