碳化硅氧化炉真空退火炉高温扩散炉青岛晨立电子有限公司

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发布时间： 2024/11/22 9:42:00

青岛晨立电子有限公司

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碳化硅氧化炉真空退火炉高温扩散炉青岛晨立电子有限公司详细说明

一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求

4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm，
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。

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产品名称：碳化硅氧化炉真空退火炉高温扩散炉青岛晨立电子有限公司

·基本配置规格

碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉 青岛晨立电子有限公司

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