实验器皿实验室蚀刻酸碱制程硅片运输应用

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发布时间： 2023/12/12 10:34:00

南京滨正红仪器有限公司

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实验器皿实验室蚀刻酸碱制程硅片运输应用—PFA花篮详细说明

PFA花篮（PFA wafer Cassette）又名清洗花蓝，特氟龙卡匣，特氟龙晶舟盒，特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，能做激光雕刻，能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。
主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。

二、参数
名称规格耐温性应用

PFA花篮
PP Cassette
2寸 -200~260℃ 酸碱传输制程
4寸
6寸
三、特点
1.耐腐蚀：耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温：-200~260℃
4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染

7.化学性能稳定
公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验，公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发，截止目前，公司推出的光伏用--太阳能硅片花篮，太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花篮。

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产品名称：实验器皿实验室蚀刻酸碱制程硅片运输应用—PFA花篮

·基本配置规格

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