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电脑式 卧式6寸两管退火炉 青岛晨立
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| 发布时间：
2024/10/12 15:53:00 |
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电 话： |
86-0532-88533525 |
| 传 真： |
86-- |
| 手 机： |
13869885308 |
| 邮 编： |
266200 |
| 地 址： |
山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼 |
| 网 址： |
http://chenlidianzi.cn.vooec.com |
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| 公司名称：青岛晨立电子有限公司 |
| 联 系 人：姜经理 先生 经理 |
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​ 卧式6寸两管退火炉供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer 的相应工艺。
一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求
4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
          下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm，
    上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
    下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。
本产品网址：http://www.vooec.com/cpshow_224460432/
手机版网址：http://m.vooec.com/product_224460432.html
产品名称：电脑式 卧式6寸两管退火炉 青岛晨立 |
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