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卧式高温扩散炉--程控高温扩散炉
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| 发布时间：
2024/9/26 16:28:00 |
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电 话： |
86-0532-88533525 |
| 传 真： |
86-- |
| 手 机： |
13869885308 |
| 邮 编： |
266200 |
| 地 址： |
山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼 |
| 网 址： |
http://chenlidianzi.cn.vooec.com |
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| 公司名称：青岛晨立电子有限公司 |
| 联 系 人：姜经理 先生 经理 |
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扩散炉系列
设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。 
主要技术指标：
★炉管数：1～4管
★配工艺管口径：Φ90～360 mm（3～12英寸）
★恒温区长度：760～1000 mm±1.0℃（300～800℃）
760～1000 mm±0.5℃（800～1280℃）
★单点稳定性：±1.0℃／24h（300～800℃）
±0.5℃／24h（800～1280℃）
★气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
★气体控制：浮子／质量流量计 
★悬臂舟参数：速度：20～1000 mm／min 
最大行程：2000
定位精度：±1 mm ;
最大载荷：17 Kg
★超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62dB（A）
振动：≤3μm
本产品网址：http://www.vooec.com/cpshow_219271305/
手机版网址：http://m.vooec.com/product_219271305.html
产品名称：卧式高温扩散炉--程控高温扩散炉 |
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