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MSD系列直流磁控溅射电源大小功率电源
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发布时间:
2020/7/23 17:08:00 |
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电 话: |
86-0760-89935878 |
传 真: |
86-- |
手 机: |
18802599203 |
邮 编: |
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地 址: |
中山市石岐区海景工业区3、4、5号(4号楼4楼) |
网 址: |
http://zshaoyuan89935878.cn.vooec.com |
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公司名称:中山市昊源电器设备有限公司 |
联 系 人:刘小姐 女士 部门经理 |
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主要特点: A 采用先进的电流型开关电源技术,减小输出储能元件, 同时提高了抑制打火及重启速度,应用在铝靶镀膜优势更为明显。 B 具备恒流/恒功率模式可选。恒功率模式相对于传统的恒流模式, 更能保证镀膜工艺的重复性。 C 具有理想的电压陡降特性,自动识别伪打火现象, 充分满足磁控溅射工艺过程的连续性。 D 可选择手动控制/模拟量接口控制,可选配RS485通讯接口。 E 专门为试验型真空设备定制,相对生产型设备的直流磁控溅射电源, 为客户减小电源体积和降低成本 采用先进的PWM脉宽调制技术,使用进口IGBT或MOSFET作为功率开关器件, 体积小、重量轻、功能全、性能稳定可靠,生产工艺严格完善。 该系列产品采用先进的DSP控制系统,充分保证镀膜工艺的重复性, 并且具有抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度; 主要参数均可大范围连续调节; 方便维护,可靠性高; PLC接口和RS485接口扩展功能,方便实现自动化控制。
主要用途:
直流磁控溅射用于镀制各种金属。
本产品网址:http://www.vooec.com/cpshow_216657692/ 手机版网址:http://m.vooec.com/product_216657692.html 产品名称:MSD系列直流磁控溅射电源大小功率电源 |
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