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供应台湾龙翩LP-BSPD立式双门蒸溅镀两用真空镀膜机
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| 发布时间：
2018/7/9 16:29:00 |
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电 话： |
86-0769-85902805 |
| 传 真： |
86-- |
| 手 机： |
18028264093 |
| 邮 编： |
523960 |
| 地 址： |
广东东莞厚街三屯上屯西环路17号 |
| 网 址： |
http://jushun2012.cn.vooec.com |
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| 公司名称：东莞市钜顺贸易有限公司 |
| 联 系 人：何洁玲 女士 |
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供应台湾龙翩LP-BSPD立式双门蒸溅镀两用真空镀膜机 详细说明 |
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台湾龙翩真空镀膜机
LP-BSPD立式双门蒸溅镀两用真空蒸著机
特色：
1.左右炉门可个别蒸著
2.蒸著制程有4组可供选择
3.使用RF或溅镀靶材
4.回转机构采用公自转方式，针对有曲度产品的蒸著，可达到极佳的均匀性效果
用途：
1.手机机壳/按键/PDA
2.其他资讯产品外壳/汽车后视镜
3.装饰性产品之表面金属镀层及NCVM蒸著
系統/機種
LP- 1200 BPSD
LP- 1500 BPSD
LP- 1600 BPSD
腔體尺寸
直徑
1,200 mm
1,500 mm
1,600 mm
高度
1,300 mm
1,500 mm
1,600 mm
可蒸鍍尺寸
-
∮135x1,050mm x18
∮135x1,250mmx24
∮135x1,350mmx26
到達真空度
-
10-6 Torr
排氣速度
-
從1個大氣壓 到 5x10-5 Torr 約15分鐘 (在空爐時)
視窗
-
1組
鎢絲數
-
18~22個
20~24個
20~26個
迴轉幫浦
公升/每分鐘
6000
10,000
15,000
加強幫浦
M3/ 每小時
1,500
3,000 M3/ 每小時
5,000
擴散幫浦
公升/ 每秒
45,000
45,000
45,000 *2
維持幫浦
建議配備
300~600公升/每分鐘
膜厚計
石英式
膜厚計
單片式感測頭/ 六片式感測頭
真空計
-
Pirani + Cold Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr)
控制箱
-
1組
濺鍍靶材
-
2~4個
濺鍍源
-
RF或DC
操作方式
-
自動,手動
冷卻水流量
公升/每分鐘
80
100
120
蒸著電源
-
30KW
35KW
50KW
高真空閥
-
24英吋
36英吋
36英吋
粗抽閥
-
6英吋
6英吋
8英吋
預抽閥
-
6英吋
洩氣閥
-
2英吋
維持閥
-
1英吋
真空計
-
Pirani + Cold Cathode (1 ATM ~ 10-6 Torr)
冷卻水塔
-
15RT (水壓: 4Kg/ cm2,壓差:2Kg/ cm2)
冷卻水溫度
-
建議 入水18℃，出水25℃，標準溫度20±1℃
超低溫冷凍機
-
超低溫冷凍機-110~-140℃ (採用環保冷媒) 另外選配
空壓機
-
3HP (空壓: 6~ 8 Kg/ cm2
所需電力
-
75KW
85KW
95KW
環境需求
-
十萬級無塵室; Epoxy平面地板; 空調; 溫度25±3℃; 濕度50±10%
本产品网址：http://www.vooec.com/cpshow_199182127/
手机版网址：http://m.vooec.com/product_199182127.html
产品名称：供应台湾龙翩LP-BSPD立式双门蒸溅镀两用真空镀膜机 |
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